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環(huán)境展示
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環(huán)境展示
遼寧格物精細(xì)化工科技有限公司
地 址：遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金卡路16號
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一、環(huán)保型12英寸電子級硅片切割專用液產(chǎn)品簡介
我司致力于實現(xiàn)“標(biāo)新創(chuàng)異”，立足精細(xì)化工， 以核心化工科學(xué)為基礎(chǔ)，運用聚合、強制乳化技術(shù)，開發(fā)、制造環(huán)保型切割專用液。適用于硅、碳化硅、鍺、砷化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰、釹鐵硼等半導(dǎo)體產(chǎn)品領(lǐng)域，具備優(yōu)異的分散性、抗剪切性、高附著性、防銹性等特點。研發(fā)出的12英寸電子級硅片切割專用液具有優(yōu)異的抑泡性、防腐防銹性、懸浮性、散熱性、潤濕性、分散性、易清洗等特點，有效控制硅片表面翹曲度、線痕、TTV、崩邊等。本品具有優(yōu)異的環(huán)境友好性，不易燃、不易爆、****、無刺激性。
二、環(huán)保型12英寸電子級硅片切割專用液技術(shù)參數(shù)
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項 目 |
GW-P626 |
GW-P628 |
GW-D611 |
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外觀（25℃） |
透明或半透明液體 |
透明或半透明液體 |
無色或微黃透明液體 |
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pH值（5％水溶液） |
5.0～7.0 |
5.0～7.0 |
5.0～7.0 |
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旋轉(zhuǎn)粘度（25℃）， mPa.s |
18～25 |
35～45 |
18～26 |
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密度（20℃），g/cm3 |
1.016～1.036 |
1.030～1.050 |
1.105～1.120 |
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傾點≥ ℃ |
-20 |
-20 |
-20 |
本品特別適用于12英寸（300mm）大硅片的切割。產(chǎn)品具有優(yōu)異的散熱性，能有效控制硅片表面翹曲度指標(biāo)。
三、環(huán)保型12英寸電子級硅片切割專用液產(chǎn)品特點
1理化特點：
1)高比熱容、導(dǎo)熱系數(shù)、穩(wěn)定性、安全性；
2)恒定pH 酸堿度、表面張力、切割穩(wěn)定性；
3)低泡沫性；
4)與韌料良好的配伍性，實現(xiàn)****率、高質(zhì)量、低成本切割。
5)切割后與硅粉、碳化硅易分離，可實現(xiàn)資源的重復(fù)利用。
2性能特點：
1)好的水溶性：不易在設(shè)備管道、漿料缸、導(dǎo)輪、硅片上殘留，便于硅片和機臺的清 洗；
2)杰出的抑泡性：具有優(yōu)異的低泡沫性；
3)良好的防腐防銹性：pH值適中，有效保護(hù)切割設(shè)備；
4)獨特的懸浮性：有效懸浮碳化硅顆粒，提高切割效率，降低切割消耗；
5)優(yōu)異的流動性和散熱性：能迅速帶走切割過程中產(chǎn)生的熱量，有效控制硅片翹曲度 指標(biāo)，保證切割表面質(zhì)量；
6)優(yōu)越的潤濕性和分散性：具備高排屑性，能夠快速潤濕硅粉并均勻分散，不易聚 集，切割時對碳化硅顆粒有優(yōu)異的分散性能，硅片品質(zhì)均勻；
7)適中的潤滑性：耐高溫，抗剪切，高的承載能力和極壓能力，可在硅片表面形成 保護(hù)膜，降低切割阻力，有效抑制硅片表面劃傷；
8)優(yōu)良的環(huán)境友好性：產(chǎn)品成分全部采用環(huán)保型材料，不易燃易爆、****性、無 刺激性。
